厂成本的百分之二十五左右,还有百分之五十成本是其他设备构成的。
至于非设备成本,也就是厂房以及其他乱七八糟的成本全部加起来,只有百分之二十五……这个百分之二十五的比例是比较低的,台积电搞一家同级别的晶圆厂,非设备成本这些得占据百分之三十左右。
当然,一家晶圆厂里,成本最贵的还是光刻机,光这一种设备就占据百分之二十五的建厂成本。
王道林对自家的DUV浸润式光刻机也是相当自豪的:“我们的DUV浸润式光刻机,目前已经为国内六家客户供货,智云微电子已经接收了三十台这种光刻机,并成功应用于产线上。”
“我们的HDUV-500型光刻机,在套刻精度上,三点五纳米已经满足10-22纳米节点的双重曝光工艺需求,同时我们的双工台技术也有比较大的进步,进一步推高了生产效率!”
“而我们的HDUV-600型号光刻机,目前也已经完成了样机制造,我们正在进行后期的各种测试环节,量产型号有望在明年第四季度出货,以供应智云微电子使用。”
“这款HDUV-600型光刻机,套刻精度达到两点五纳米,完全可以用来进行四重曝光,满足智云微电子提出的等效七纳米工艺的生产需求!”
“目前我们在DUV光刻机领域的技术研发,主要也是集中在这款光刻机上!”
“除了眼前这些光刻机外,旁边的是我们的蚀刻机,离子注入机等核心设备,也都是我们研发人员联合国内众多厂家,科研所合作研发的成果,每一款设备,都是国内顶级工业技术的完美体现!”
说实话,这些设备如何完美体现国内的顶级工业技术,徐申学不知道……
徐申学对工业基础技术,其实了解的也不多,他前后两辈子都是文科出身,这辈子虽然从事高科技行业,日常也会接触一些高技术的东西,同时他自己现在还给自己挂着以个A级的科研名额涨脑子,有空,有需求的时候他也会了解,学习一些技术资料。
但是这种了解和学习依旧是极为有限的。
主要是海湾科技这边的东西过于先进,并且涉及到的领域方方面面,徐申学说真的,想要弄明白这些东西有点吃力。
但是徐申学也不需要弄明白详细的技术原理这些,他只需要知道这些设备可以用来生产先进的芯片就行了。
至于有什么技术很重要,需要重点关注之类的,王道林也会重点给他说一说!
这一圈看下来,至少看了十多种设备,无一例外都是半导体制造业里的核心设备。
其中的不少技术已经非常不错,比如后道光刻机技术就非常好,甚至都有些超前发展了……王道林说他们的HS350型后道光刻机,甚至都已经可以用来满足等效七纳米工艺的生产需求了,甚至都达到了国际领先水平,超过了竞争对手。
不仅仅自己使用,还提供给大量国外客户使用,四星甚至都有采购……而且这种先进后道光刻机,海湾科技卖的很贵的,价格比国外同类型竞品还高。
然后蚀刻机做的也比较好,基本上能够满足10-22纳米工艺的需求,其中的先进型号已经能够满足10工艺,也算是超前发展了,同样也供应国内外客户。
其他的多种核心设备,基本也能满足十四纳米工艺或二十八纳米工艺的需求。
”我们的目标,是争取在后年,把这十多种核心设备的技术指标,全部提升到满足等效10纳米工艺的程度。”
”然后在这个基础上,继续向7纳米工艺乃至未来的5纳米工艺所需要的技术指标推进!”
“对此,我们的信心还是很大的!”
徐申学心中则是暗道:“二十个S级科研名额,百十多个A级科研名额都投在了仙女山控股体系下,如果你们还没信心,我就要怀疑你们是不是有真材实料了。”
仙女山控股体系下的各企业,一向来是徐申学的科研名额的投入大户,每个月新增加的成就点所购买的S级以及A级别的科研名额,基本都是给仙女山控股体系这边用了。
智云集团那边除了智云微电子外,其他项目组,子公司都已经好久没有得到过A级以上的科研名额新增了,都是用原来的一些科研名额顶着,不过原来分配过去的高级别科研名额也不少,所以也够用了。
看完了诸多这些现成的核心设备,徐申学又了解了一番EUV光刻机的研发进度。
王道林介绍道:“目前我们正在汇